Design and modelling of an impedance-based MEMS biosensor

This paper present the preliminary design of a micro-electromechanical system (MEMS) surface acoustic wave (SAW) resonator as a biosensor using COMSOL. The biosensor consists of a SAW resonator which utilizes mechanical acoustic waves as its sensing mechanism. The preliminary study was performed to...

وصف كامل

محفوظ في:
التفاصيل البيبلوغرافية
المؤلفون الرئيسيون: Jamil, Nadira, Nordin, Anis Nurashikin, Voiculescu, Ioana
التنسيق: Conference or Workshop Item
اللغة:English
منشور في: 2011
الموضوعات:
الوصول للمادة أونلاين:http://irep.iium.edu.my/15123/1/06088352.pdf
http://irep.iium.edu.my/15123/
http://ieeexplore.ieee.org/xpl/mostRecentIssue.jsp?punumber=6086117
الوسوم: إضافة وسم
لا توجد وسوم, كن أول من يضع وسما على هذه التسجيلة!
المؤسسة: Universiti Islam Antarabangsa Malaysia
اللغة: English