Nghiên cứu các vật liệu nano có tính chất từ tối ưu cho các sensor dựa trên kỹ thuật spintronic - Bùi, Đình Tú (H. : ĐHQGHN, 2017)
Nghiên cứu chế tạo thử linh kiện dựa trên cấu trúc đã thiết kế ở trên, sử dụng Mask được đặt mua ở nuốc ngoài, theo dự kiến, Mask này cho phép tạo ra 24 chân tương ứng với 10 sensơ đơn hay một tổ hợp sensơ 10 chiếc. Các sensơ sau chế tạo xong phần cấu trúc, được phủ lớp bảo vệ chống o-xy hóa và tác động của môi trường. Tiếp theo là công đọa hàn dây nối chân của các linh kiện ra bên ngoài để có thể đo kiểm tra. Đánh giá độ hoạt động của các linh kiện chế tạo được và xác suất thành công. Dùng sensơ chế tạo được đo kiểm tra và đánh giá mức độ hoạt động, độ nhạy, tính ổn định thông qua việc đo tín hiệu từ các hạt từ có kích thước nano mét là sản phẩm thương mại hoặc chế tạo tại phòng thí nghiệm của Bộ môn. Các kết quả đạt được: Đã tìm kiếm được các vật liệu có tính chất phù hợp với mục đích chế tạo sensơ, khảo sát tính chất của vật liệu, đánh giá độ ổn định, xây dựng và hoàn thiện qui trình chế tạo vật liệu; Nghiên cứu so sánh với lớp ghim là NiFe và CoFe, kết quả cho tín hiệu thế ra cao và độ nhạy cao khi sử dụng lớp ghim là NiFe; Đã tính toán, xây dựng mô hình cấu trúc của sensơ định chế tạo: số lớp vật liệu cần phải có, chiều dày của mỗi lớp, tạo lớp tiếp xúc theo cấu trúc van-spin, tạo cấu trúc cho linh kiện; Đã chế tạo được các linh kiện dựa trên cấu trúc đã thiết kế, sử dụng Mask được đặt mua ở nước ngoài, Mask này cho phép tạo ra 24 chân tương ứng với 10 sensơ đơn hay một tổ hợp sensơ 10 chiếc; Dùng sensơ chế tạo được đo kiểm tra và đánh giá mức độ hoạt động, độ nhạy, tính ổn định thông qua việc đo tín hiệu từ các hạt từ có kích thước nano mét là sản phẩm thương mại hoặc chế tạo tại phòng thí nghiệm của Bộ môn; Đã nghiên cứu ảnh hưởng chiều dày của lớp tự do và lớp ghim tới độ nhạy của sensor PHE dựa trên cấu trúc NiFe(tf)/Cu(1.2nm)/IrMn(15nm) với kích thước 50 x 50 Mm2.; Xây dựng được một quy trình công nghệ chế tạo các cảm biến từ ứng dụng trong sinh học, bao gồm các quy trình công nghệ trong phòng sạch, quy trình công nghệ phún xạ màng mỏng, kỹ thuật hàn dây, kỹ thuật khảo sát phát hiện các hạt từ kích thước Micro mét.