Nghiên cứu mô phỏng và khảo sát cảm biến áp suất kiểu áp trở chế tạo trên cơ sở công nghệ vi cơ điện tử (MEMS) - Nguyễn, Hữu Khánh Nhân (ĐHCN, 2017)
Tổng quan về hệ vi cơ điện tử và hiệu ứng áp điện trở trong vật liệu bán dẫn silic. Thiết kế và mô phỏng cảm biến áp suất kiểu áp trở. Xây dựng hệ đo cảm biến áp suất.