Multi-linear model-based fault detection during process transitions
10.1016/S0009-2509(03)00008-3
محفوظ في:
المؤلفون الرئيسيون: | Bhagwat, A., Srinivasan, R., Krishnaswamy, P.R. |
---|---|
مؤلفون آخرون: | CHEMICAL & ENVIRONMENTAL ENGINEERING |
التنسيق: | مقال |
منشور في: |
2014
|
الموضوعات: | |
الوصول للمادة أونلاين: | http://scholarbank.nus.edu.sg/handle/10635/92154 |
الوسوم: |
إضافة وسم
لا توجد وسوم, كن أول من يضع وسما على هذه التسجيلة!
|
المؤسسة: | National University of Singapore |
مواد مشابهة
-
Fault detection during process transitions: A model-based approach
بواسطة: Bhagwat, A., وآخرون
منشور في: (2014) -
Moving PCA for process fault detection - A performance and sensitivity study
بواسطة: DOAN XUAN TIEN
منشور في: (2010) -
Fault detection and estimation of wafer warpage profile during thermal processing in microlithography
بواسطة: Tay, A., وآخرون
منشور في: (2014) -
Optimal variable selection for effective statistical process monitoring
بواسطة: Ghosh, K., وآخرون
منشور في: (2014) -
Incorporating fault dependency and debugging delay in software reliability analysis
بواسطة: Peng, R., وآخرون
منشور في: (2014)