Dechana, A., Thamboon, P., & Boonyawan, D. (2018). Microwave remote plasma enhanced-atomic layer deposition system with multicusp confinement chamber.
استشهاد بنمط شيكاغوDechana, A., P. Thamboon, و D. Boonyawan. Microwave Remote Plasma Enhanced-atomic Layer Deposition System With Multicusp Confinement Chamber. 2018.
MLA استشهادDechana, A., P. Thamboon, و D. Boonyawan. Microwave Remote Plasma Enhanced-atomic Layer Deposition System With Multicusp Confinement Chamber. 2018.
تحذير: قد لا تكون هذه الاستشهادات دائما دقيقة بنسبة 100%.