Electrical properties of a-C: Mo films produced by dual-cathode filtered cathodic arc plasma deposition
Molybdenum-containing amorphous carbon (a-C:Mo) thin films were prepared using a dual-cathode filtered cathodic arc plasma source with a molybdenum and a carbon (graphite) cathode. The Mo content in the films was controlled by varying the deposition pulse ratio of Mo and C. Film sheet resistance was...
محفوظ في:
| المؤلفون الرئيسيون: | , , |
|---|---|
| التنسيق: | مقال |
| اللغة: | English |
| منشور في: |
2014
|
| الوصول للمادة أونلاين: | http://www.scopus.com/inward/record.url?eid=2-s2.0-54049095861&partnerID=40&md5=63c07a51204eae0fa227b224fbb3e46e http://cmuir.cmu.ac.th/handle/6653943832/5428 |
| الوسوم: |
إضافة وسم
لا توجد وسوم, كن أول من يضع وسما على هذه التسجيلة!
|