Effect of excimer laser annealing on the silicon nanocrystals embedded in silicon-rich silicon nitride film

بواسطة Chen, Rui, Qi, D. F., Ruan, Y. J., Pan, S. W., Chen, S. Y., Xie, Sheng, Li, Cheng, Lai, H. K., Sun, H. D.
منشور في 2013