Effects of annealing process on film surfaces grown by molecular beam epitaxy growth model with arrhenius law

ปัจจุบันงานวิจัยส่วนใหญ่สนใจว่าจะลดความขรุขระของผิวฟิล์มอย่างไร กระบวนการอบอ่อนเป็นหนึ่งในเทคนิควิธีที่ให้ผลลัพธ์ที่ดีที่สุดในการลดความขรุขระของผิวที่ปลูกหลังจากกระบวนการตกสะสมของอะตอมสิ้นสุดลง เนื่องจากกระบวนการนี้ให้พลังงานความร้อนแก่อะตอมบนซับสเตรทเพื่อที่จะทำลายพันธะที่สร้างในระหว่างการตกสะสมและ...

Full description

Saved in:
Bibliographic Details
Main Author: Somjintana Potepanit
Other Authors: Patcha Chatraphorn
Format: Theses and Dissertations
Language:English
Published: Chulalongkorn University 2012
Subjects:
Online Access:https://digiverse.chula.ac.th/Info/item/dc:37689
Tags: Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!