PEMBUATAN LAPISAN TIPIS PIEZOELEKTRIK (ZnO) DENGAN TEKNIK SPUTTERING DAN KARAKTERISASI SIFAT FISIKNYA
Telah dilakukan penelitian mengenai karakterisasi lapisan tlPIS piezoelektrik (ZnO) yang dibuat dengan metode sputtering tegangan tinggi DC, dengan berbagai variasi kondisi sputtering. Kondisi sputtering yang bervariasi, diharapkan dapat digunakan untuk mengetahui bagaimana variasi karakter fisis da...
Saved in:
| Main Author: | |
|---|---|
| Format: | Theses and Dissertations NonPeerReviewed |
| Language: | Indonesian |
| Published: |
2000
|
| Subjects: | |
| Online Access: | http://repository.unair.ac.id/48136/1/KK%20MPF%2026-00%20NUK%20P.pdf http://repository.unair.ac.id/48136/ http://lib.unair.ac.id |
| Tags: |
Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
|
| Institution: | Universitas Airlangga |
| Language: | Indonesian |