Pengamatan Gejala Defleksi Fototermal Pada Lempeng Silikon Dengan Teknik Deteksi Trasversal

• Main Author: Perpustakaan UGM, i-lib
• Format: Article NonPeerReviewed
• Published: [Yogyakarta] : Universitas Gadjah Mada 2003
• Subjects: Jurnal i-lib UGM
• Online Access: https://repository.ugm.ac.id/22321/; http://i-lib.ugm.ac.id/jurnal/download.php?dataId=5212
• Institution: Universitas Gadjah Mada

Telah dilakukan pengamatan sinyal fototermal pada lempeng silikon dengan teknik defleksi fototermal transversal, yaitu berkas laser penguji dilewatkan permukaan lempeng secara menyusur. Dalam metode ini digunakan laser Argon Ion sebagai pemompa dan He-Ne sebagai berkas penguji. Gejala fototermal yang muncul tergantung dari konsentrasi atom-atom atau senyawasenyawa pada bahan yang bersifat menyerap radiasi laser pemompa. Dengan mengatur frekuensi modulasi sistem dapat diamati gejala fototermal pada permukaan maupun di lapisan lebih dalam dari permukaan sehingga dapat diketahui tingkat ketakhomogenan bahan dari unsur tertentu. Hasil pengamatan .menunjukkan bahwa tinggi sinyal fototermal sebanding dengan banyaknya unsur penyerap pada bahan dalam hal ini silikon, sehingga dari gambaran grafik posisi sapuan terhadap tinggi sinyal dapat menunjukkan tingkat ketakhomogenan bahan tersebut. Kata kunci : Teknik defleksi fototermal