Pemeriksaan Filem SiO2 Yang Dienapkan Di Atas Susbtrat Si Melalui Teknik Pirolisis Semburan Ultrabunyi
Pirolisis semburan ultrabunyi (PSU) telah digunakan untuk mengenapkan filem SiO2 di atas substrat Si. Dalam rangka pengenapan oksida di atas Si, reaktor USP telah direkabentuk dan dibina. Prapenanda yang digunakan sebagai sumber oksida ini adalah berdasarkan larutan Tetraetoksilana dan disediakan de...
Saved in:
| Main Author: | |
|---|---|
| Format: | Thesis |
| Language: | English |
| Published: |
2010
|
| Subjects: | |
| Online Access: | http://eprints.usm.my/41649/1/CAHYO_BUDI.pdf http://eprints.usm.my/41649/ |
| Tags: |
Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
|
| Institution: | Universiti Sains Malaysia |
| Language: | English |
| id |
my.usm.eprints.41649 |
|---|---|
| record_format |
eprints |
| spelling |
my.usm.eprints.41649 http://eprints.usm.my/41649/ Pemeriksaan Filem SiO2 Yang Dienapkan Di Atas Susbtrat Si Melalui Teknik Pirolisis Semburan Ultrabunyi Nugroho, Cahyo Budi TN1-997 Mining engineering. Metallurgy Pirolisis semburan ultrabunyi (PSU) telah digunakan untuk mengenapkan filem SiO2 di atas substrat Si. Dalam rangka pengenapan oksida di atas Si, reaktor USP telah direkabentuk dan dibina. Prapenanda yang digunakan sebagai sumber oksida ini adalah berdasarkan larutan Tetraetoksilana dan disediakan dengan kaedah sol gel. Setelah disediakan, prapenanda diatomkan untuk menjadi kabus dan disemburkan di atas permukaan Si yang panas mengunakan gas Argon. 2010-04 Thesis NonPeerReviewed application/pdf en http://eprints.usm.my/41649/1/CAHYO_BUDI.pdf Nugroho, Cahyo Budi (2010) Pemeriksaan Filem SiO2 Yang Dienapkan Di Atas Susbtrat Si Melalui Teknik Pirolisis Semburan Ultrabunyi. Masters thesis, Universiti Sains Malaysia. |
| institution |
Universiti Sains Malaysia |
| building |
Hamzah Sendut Library |
| collection |
Institutional Repository |
| continent |
Asia |
| country |
Malaysia |
| content_provider |
Universiti Sains Malaysia |
| content_source |
USM Institutional Repository |
| url_provider |
http://eprints.usm.my/ |
| language |
English |
| topic |
TN1-997 Mining engineering. Metallurgy |
| spellingShingle |
TN1-997 Mining engineering. Metallurgy Nugroho, Cahyo Budi Pemeriksaan Filem SiO2 Yang Dienapkan Di Atas Susbtrat Si Melalui Teknik Pirolisis Semburan Ultrabunyi |
| description |
Pirolisis semburan ultrabunyi (PSU) telah digunakan untuk mengenapkan filem SiO2 di atas substrat Si. Dalam rangka pengenapan oksida di atas Si, reaktor USP telah direkabentuk dan dibina. Prapenanda yang digunakan sebagai sumber oksida ini adalah berdasarkan larutan Tetraetoksilana dan disediakan dengan kaedah sol gel. Setelah disediakan, prapenanda diatomkan untuk menjadi kabus dan disemburkan di atas permukaan Si yang panas mengunakan gas Argon. |
| format |
Thesis |
| author |
Nugroho, Cahyo Budi |
| author_facet |
Nugroho, Cahyo Budi |
| author_sort |
Nugroho, Cahyo Budi |
| title |
Pemeriksaan Filem SiO2 Yang Dienapkan Di Atas Susbtrat Si Melalui Teknik Pirolisis Semburan Ultrabunyi |
| title_short |
Pemeriksaan Filem SiO2 Yang Dienapkan Di Atas Susbtrat Si Melalui Teknik Pirolisis Semburan Ultrabunyi |
| title_full |
Pemeriksaan Filem SiO2 Yang Dienapkan Di Atas Susbtrat Si Melalui Teknik Pirolisis Semburan Ultrabunyi |
| title_fullStr |
Pemeriksaan Filem SiO2 Yang Dienapkan Di Atas Susbtrat Si Melalui Teknik Pirolisis Semburan Ultrabunyi |
| title_full_unstemmed |
Pemeriksaan Filem SiO2 Yang Dienapkan Di Atas Susbtrat Si Melalui Teknik Pirolisis Semburan Ultrabunyi |
| title_sort |
pemeriksaan filem sio2 yang dienapkan di atas susbtrat si melalui teknik pirolisis semburan ultrabunyi |
| publishDate |
2010 |
| url |
http://eprints.usm.my/41649/1/CAHYO_BUDI.pdf http://eprints.usm.my/41649/ |
| _version_ |
1643710280110178304 |