Nghiên cứu mô phỏng và khảo sát cảm biến áp suất kiểu áp trở chế tạo trên cơ sở công nghệ vi cơ điện tử (MEMS)
Saved in:
| Main Author: | |
|---|---|
| Format: | Theses and Dissertations |
| Language: | other |
| Published: |
H. : ĐHCN
2016
|
| Subjects: | |
| Online Access: | http://repository.vnu.edu.vn/handle/VNU_123/14488 |
| Tags: |
Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
|
| Institution: | Vietnam National University, Hanoi |
| Language: | other |
| id |
oai:112.137.131.14:VNU_123-14488 |
|---|---|
| record_format |
dspace |
| spelling |
oai:112.137.131.14:VNU_123-144882016-09-28T20:04:07Z Nghiên cứu mô phỏng và khảo sát cảm biến áp suất kiểu áp trở chế tạo trên cơ sở công nghệ vi cơ điện tử (MEMS) Nguyễn, Hữu Khánh Nhân Công nghệ vi cơ điện tử Cảm biến áp suất Khoa học vật liệu Vật liệu bán dẫn silic 2016-09-28T01:46:24Z 2016-09-28T01:46:24Z 2008 Thesis 99 tr. http://repository.vnu.edu.vn/handle/VNU_123/14488 other application/pdf H. : ĐHCN |
| institution |
Vietnam National University, Hanoi |
| building |
VNU Library & Information Center |
| country |
Vietnam |
| collection |
VNU Digital Repository |
| language |
other |
| topic |
Công nghệ vi cơ điện tử Cảm biến áp suất Khoa học vật liệu Vật liệu bán dẫn silic |
| spellingShingle |
Công nghệ vi cơ điện tử Cảm biến áp suất Khoa học vật liệu Vật liệu bán dẫn silic Nguyễn, Hữu Khánh Nhân Nghiên cứu mô phỏng và khảo sát cảm biến áp suất kiểu áp trở chế tạo trên cơ sở công nghệ vi cơ điện tử (MEMS) |
| format |
Theses and Dissertations |
| author |
Nguyễn, Hữu Khánh Nhân |
| author_facet |
Nguyễn, Hữu Khánh Nhân |
| author_sort |
Nguyễn, Hữu Khánh Nhân |
| title |
Nghiên cứu mô phỏng và khảo sát cảm biến áp suất kiểu áp trở chế tạo trên cơ sở công nghệ vi cơ điện tử (MEMS) |
| title_short |
Nghiên cứu mô phỏng và khảo sát cảm biến áp suất kiểu áp trở chế tạo trên cơ sở công nghệ vi cơ điện tử (MEMS) |
| title_full |
Nghiên cứu mô phỏng và khảo sát cảm biến áp suất kiểu áp trở chế tạo trên cơ sở công nghệ vi cơ điện tử (MEMS) |
| title_fullStr |
Nghiên cứu mô phỏng và khảo sát cảm biến áp suất kiểu áp trở chế tạo trên cơ sở công nghệ vi cơ điện tử (MEMS) |
| title_full_unstemmed |
Nghiên cứu mô phỏng và khảo sát cảm biến áp suất kiểu áp trở chế tạo trên cơ sở công nghệ vi cơ điện tử (MEMS) |
| title_sort |
nghiên cứu mô phỏng và khảo sát cảm biến áp suất kiểu áp trở chế tạo trên cơ sở công nghệ vi cơ điện tử (mems) |
| publisher |
H. : ĐHCN |
| publishDate |
2016 |
| url |
http://repository.vnu.edu.vn/handle/VNU_123/14488 |
| _version_ |
1680966707597803520 |