Màng perovskite PZT chế tạo dựa trên công nghệ bốc bay bằng xung laser (PLD) : Đề tài NCKH. QC.09.21

• Main Authors: Phạm, Đức Thắng, Nguyễn, Thăng Long, Phạm, Thị Ngọc Mai, Nguyễn, Ngọc Khoái, Quách, Duy Trường, Nguyễn, Minh Thái
• Format: Other
• Language: Vietnamese
• Published: H. : ĐHQGHN 2017
• Subjects: Vật liệu; Công nghệ bốc bay; Laser
• Online Access: http://repository.vnu.edu.vn/handle/VNU_123/19594
• Institution: Vietnam National University, Hanoi

Vật liệu PZT với các tính chất lý thú đã và đang thu hút được nhiều sự quan tâm của các nhà khoa học. Trong nước cho đến nay mới chỉ có một số cơ sở nghiên cứu về vật liệu dạng bột và khối. Việc nắm bắt làm chủ được quy trình chế tạo màng PZT bằng công nghệ PLD là rất quan trọng để mở ra hướng nghiên cứu mới ở Việt Nam cũng như khai thác có hiệu quả thiết bị chuyên dụng này. Đề tài tập trung thử nghiệm chế tạo màng sắt điện PZT bằng phương pháp PLD. Ảnh hưởng của một số điều kiện công nghệ như loại đế, nhiệt độ, áp suất oxy, năng lượng laser lên các tính chất về cấu trúc tinh thể và vi cấu trúc, các tính chất điện và sắt điện của vật liệu sẽ được nghiên cứu. Trên cơ sở các nội dung nghiên cứu đó, đề tài đã thu được các kết quả sau: Nghiên cứu quy trình công nghệ chế tạo vật liệu PZT dạng bột kích thước micromet, dạng khối và dạng màng sử dụng các phương pháp citrate và bốc bay bằng laser xung; Nghiên cứu ảnh hưởng của một số điều kiện công nghệ như nhiệt độ và thời gian phản ứng, loại đế và nhiệt độ đế, áp suất khí O2 và năng lượng laser lên cấu trúc tinh thể, cấu trúc vi mô và các tính chất của các vật liệu chế tạo.