Chế tạo và khảo sát các Senso khí trên cơ sở vật liệu ZnO : Đề tài NCKH. QT01.32

24 tr.

Saved in:

Bibliographic Details
Main Authors:	Tạ, Đình Cảnh, Nguyễn, Duy Phương, Nguyễn, Sỹ Hải
Format:	Other
Language:	other
Published:	H. : ĐHQGHN 2017
Subjects:	Chất bán dẫn Phương pháp chế tạo màng ZnO Vật liệu bán dẫn
Online Access:	http://repository.vnu.edu.vn/handle/VNU_123/21784
Tags:	Add Tag No Tags, Be the first to tag this record!
Institution:	Vietnam National University, Hanoi
Language:	other

id	oai:112.137.131.14:VNU_123-21784
record_format	dspace
spelling	oai:112.137.131.14:VNU_123-217842017-09-29T20:12:10Z Chế tạo và khảo sát các Senso khí trên cơ sở vật liệu ZnO : Đề tài NCKH. QT01.32 Tạ, Đình Cảnh Nguyễn, Duy Phương Nguyễn, Sỹ Hải Chất bán dẫn Phương pháp chế tạo màng ZnO Vật liệu bán dẫn 24 tr. Chế tạo bia ZnO từ bột ZnO của hãng Merck bằng phương pháp gốm truyền thống trên các thiết bị của dự án OPEC. Chế tạo màng Pd bằng phương pháp bốc bay nhiệt trong chân không, độ dày của màng kim loại biến đổi từ vài chục đến hơn một trăm nanômet. Chế tạo tổ hợp của cấu trúc sensơ nhạy khí Pd/ZnO/p-Si và Pd/ZnO/Zn. Khảo sát tính chất của màng ZnO và màng Pd. Làm chủ được thiết bị Univex - 450 của hãng Leybold. Đánh giá độ nhạy của các senso đã chế tạo trong buồng đo với các nồng độ khí hyđro khác nhau. Để thực hiện được mục tiêu nêu ở trên, để tài đã giải quyết được các vấn đề sau: Chế tạo màng ZnO có chất lượng cao bằng phương pháp phún xạ r.f. magnetron trên thiết bị Univex -450 của hãng Leybold 2017-03-23T09:08:05Z 2017-03-23T09:08:05Z 2002 Other http://repository.vnu.edu.vn/handle/VNU_123/21784 other application/pdf H. : ĐHQGHN
institution	Vietnam National University, Hanoi
building	VNU Library & Information Center
country	Vietnam
collection	VNU Digital Repository
language	other
topic	Chất bán dẫn Phương pháp chế tạo màng ZnO Vật liệu bán dẫn
spellingShingle	Chất bán dẫn Phương pháp chế tạo màng ZnO Vật liệu bán dẫn Tạ, Đình Cảnh Nguyễn, Duy Phương Nguyễn, Sỹ Hải Chế tạo và khảo sát các Senso khí trên cơ sở vật liệu ZnO : Đề tài NCKH. QT01.32
description	24 tr.
format	Other
author	Tạ, Đình Cảnh Nguyễn, Duy Phương Nguyễn, Sỹ Hải
author_facet	Tạ, Đình Cảnh Nguyễn, Duy Phương Nguyễn, Sỹ Hải
author_sort	Tạ, Đình Cảnh
title	Chế tạo và khảo sát các Senso khí trên cơ sở vật liệu ZnO : Đề tài NCKH. QT01.32
title_short	Chế tạo và khảo sát các Senso khí trên cơ sở vật liệu ZnO : Đề tài NCKH. QT01.32
title_full	Chế tạo và khảo sát các Senso khí trên cơ sở vật liệu ZnO : Đề tài NCKH. QT01.32
title_fullStr	Chế tạo và khảo sát các Senso khí trên cơ sở vật liệu ZnO : Đề tài NCKH. QT01.32
title_full_unstemmed	Chế tạo và khảo sát các Senso khí trên cơ sở vật liệu ZnO : Đề tài NCKH. QT01.32
title_sort	chế tạo và khảo sát các senso khí trên cơ sở vật liệu zno : đề tài nckh. qt01.32
publisher	H. : ĐHQGHN
publishDate	2017
url	http://repository.vnu.edu.vn/handle/VNU_123/21784
_version_	1680963145103835136

Chế tạo và khảo sát các Senso khí trên cơ sở vật liệu ZnO : Đề tài NCKH. QT01.32

Similar Items