Nghiên cứu chế tạo màng mỏng dẫn điện sử dụng vật liệu ZnO pha tạp Ag
Đề tài chọn vật liệu ZnO pha tạp Ag là đối tượng nghiên cứu nhằm chế tạo màng trong suốt có điện trở suất thấp và cho ánh sáng trong vùng khả kiến truyền qua. Mẫu màng ZnO pha Ag được tạo ra bằng phương pháp phún xạ magnetron RF khi thay đổi nồng độ Ag pha tạp, công suất phún xạ (125W, 150W, 175W) v...
Saved in:
| Main Author: | |
|---|---|
| Other Authors: | |
| Format: | Đề tài khoa học |
| Language: | Vietnamese |
| Published: |
2020
|
| Subjects: | |
| Online Access: | http://repository.vnu.edu.vn/handle/VNU_123/89365 |
| Tags: |
Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
|
| Institution: | Vietnam National University, Hanoi |
| Language: | Vietnamese |
| Summary: | Đề tài chọn vật liệu ZnO pha tạp Ag là đối tượng nghiên cứu nhằm chế tạo màng trong suốt có điện trở suất thấp và cho ánh sáng trong vùng khả kiến truyền qua. Mẫu màng ZnO pha Ag được tạo ra bằng phương pháp phún xạ magnetron RF khi thay đổi nồng độ Ag pha tạp, công suất phún xạ (125W, 150W, 175W) và sự thay đổi tính chất của màng ZnO pha Ag sau khi ủ nhiệt trong không khí và trong khí ozon ở nhiệt độ 450 °C trong 2h. |
|---|