Nghiên cứu chế tạo cảm biến từ trường có kích thước micro-nano dạng cầu Wheatstone dựa trên hiệu ứng từ-điện trở dị hướng

• Main Author: Lê, Khắc Quynh
• Other Authors: Đỗ, Thị Hương Giang
• Format: Theses and Dissertations
• Language: Vietnamese
• Published: 2020
• Subjects: A
• Online Access: http://repository.vnu.edu.vn/handle/VNU_123/99381
• Institution: Vietnam National University, Hanoi

Chế tạo, nghiên cứu tính chất từ và từ điện trở dị hướng trên các màng mỏng cấu trúc Ta/Ni80Fe20/Ta được chế tạo bằng phương pháp phún xạ phụ thuộc vào các thông số hình thái học như chiều dày màng, độ lớp từ trương ghim, phương ghim, hình dạng.....