The investigation of surface topography development in Si(001) and Si(111) during SIMS depth profiling

10.1016/S0218-625X(01)00123-3

محفوظ في:
التفاصيل البيبلوغرافية
المؤلفون الرئيسيون: Lau, G.S., Tok, E.S., Wee, A.T.S., Liu, R., Lim, S.L.
مؤلفون آخرون: INSTITUTE OF ENGINEERING SCIENCE
التنسيق: مقال
منشور في: 2014
الوصول للمادة أونلاين:http://scholarbank.nus.edu.sg/handle/10635/113107
الوسوم: إضافة وسم
لا توجد وسوم, كن أول من يضع وسما على هذه التسجيلة!
المؤسسة: National University of Singapore