PROCESS STUDY OF HIGH Q INDUCTOR FABRICATION WITH CU / LOW - K INTERCONNECT

• المؤلف الرئيسي: ZHU HONG
• مؤلفون آخرون: SINGAPORE-MIT ALLIANCE
• التنسيق: Theses and Dissertations
• منشور في: 2019
• الموضوعات: High Q inductor; On-chip inductor; Cu single damascene process; Black DiamondTM; Deep trench formation; Metal hard mask
• الوصول للمادة أونلاين: https://scholarbank.nus.edu.sg/handle/10635/154134
• المؤسسة: National University of Singapore

Master's