A 2f method for the measurement of resonant frequency and Q-factor of micromechanical transducers

• المؤلفون الرئيسيون: Logeeswaran, V.J., Tay, F.E.H., Chan, M.L., Chau, F.S., Liang, Y.C.
• مؤلفون آخرون: ELECTRICAL & COMPUTER ENGINEERING
• التنسيق: مقال
• منشور في: 2014
• الموضوعات: Electrostatic drive; First harmonic (2f); Lock-in; Lorentzian curve-fitting; Resonance Curve Area (RCA)
• الوصول للمادة أونلاين: http://scholarbank.nus.edu.sg/handle/10635/50836
• المؤسسة: National University of Singapore

10.1117/12.462859