Experimental investigation into the use of micro-extraction fields for electron beam testing

• المؤلفون الرئيسيون: Khursheed, A., Goh, S.P.
• مؤلفون آخرون: ELECTRICAL ENGINEERING
• التنسيق: مقال
• منشور في: 2014
• الموضوعات: Electron beam test; Micro-extraction fields; Transverse local field effects; Voltage contrast
• الوصول للمادة أونلاين: http://scholarbank.nus.edu.sg/handle/10635/62167

Microelectronic Engineering