Ong, P., Wei, J., Tay, F., Iliescu, C., & ENGINEERING, M. (2014). A new fabrication method for low stress PECVD - SiNx layers.
استشهاد بنمط شيكاغوOng, P.L., J. Wei, F.E.H Tay, C. Iliescu, و MECHANICAL ENGINEERING. A New Fabrication Method for Low Stress PECVD - SiNx Layers. 2014.
MLA استشهادOng, P.L., et al. A New Fabrication Method for Low Stress PECVD - SiNx Layers. 2014.
تحذير: قد لا تكون هذه الاستشهادات دائما دقيقة بنسبة 100%.