Characteristics of a 13.56 Mhz radiofrequency-driven multicusp ion source
The characteristics of a radiofrequency (rf)-driven multicusp ion source are investigated. The ion source is an Nd-Fe-B magnetic multicusp type operated at 13.56 MHz with an internal quartz covered antenna. The source has been diagnosed by an rf-compensated Langmuir probe for uniformity, density and...
محفوظ في:
| المؤلفون الرئيسيون: | , , |
|---|---|
| التنسيق: | مقال |
| اللغة: | English |
| منشور في: |
2014
|
| الوصول للمادة أونلاين: | http://www.scopus.com/inward/record.url?eid=2-s2.0-0036861411&partnerID=40&md5=5b9e283c5a87d4ff45d701a77047fd9f http://cmuir.cmu.ac.th/handle/6653943832/5305 |
| الوسوم: |
إضافة وسم
لا توجد وسوم, كن أول من يضع وسما على هذه التسجيلة!
|