Nitrogen doping for adhesion improvement of DLC film deposited on Si substrate by Filtered Cathodic Vacuum Arc (FCVA) technique

Diamond-like carbon (DLC) films have been used in many applications due to their attractive combination of properties including chemical inertness, corrosion protection, biocompatibility, high hardness, and low wear rates. However, they still have some limitations such as high internal stresses and...

وصف كامل

محفوظ في:
التفاصيل البيبلوغرافية
المؤلفون الرئيسيون: D. Bootkul, B. Supsermpol, N. Saenphinit, C. Aramwit, S. Intarasiri
التنسيق: دورية
منشور في: 2018
الموضوعات:
الوصول للمادة أونلاين:https://www.scopus.com/inward/record.uri?partnerID=HzOxMe3b&scp=84903314909&origin=inward
http://cmuir.cmu.ac.th/jspui/handle/6653943832/53634
الوسوم: إضافة وسم
لا توجد وسوم, كن أول من يضع وسما على هذه التسجيلة!