การประยุกต์ใช้โปรแกรมจำลองสถานการณ์ ในกระบวนการกัด เพื่อหาพารามิเตอร์ที่เหมาะสมที่สุด สำหรับการผลิตหัวอ่าน-เขียนฮาร์ดดิสก์
วารสารวิศวกรรมศาสตร์ มหาวิทยาลัยเชียงใหม่ (Engineering Journal Chiang Mai University) เป็นวารสารที่ตีพิมพ์บทความวิชาการในลักษณะบทความวิจัย และบทความปริทัศน์ที่มีคุณภาพสูง ทางด้านวิศวกรรมศาสตร์ วิทยาศาสตร์ และเทคโนโลยี รวมถึงสาขาอื่นที่เกี่ยวข้อง โดยมีเนื้อหาที่เป็นองค์ความรู้พื้นฐานจนกระทั่งการนำไปใ...
Saved in:
| Main Authors: | , , |
|---|---|
| Format: | บทความวารสาร |
| Language: | Tha |
| Published: |
มหาวิทยาลัยเชียงใหม่ วารสารวิศวกรรมศาสตร์
2019
|
| Online Access: | http://researchs.eng.cmu.ac.th/UserFiles/File/Journal/17_2/2Alonggot.pdf http://cmuir.cmu.ac.th/jspui/handle/6653943832/64679 |
| Tags: |
Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
|
| Institution: | Chiang Mai University |
| Language: | Tha |
| id |
th-cmuir.6653943832-64679 |
|---|---|
| record_format |
dspace |
| spelling |
th-cmuir.6653943832-646792019-05-07T10:02:19Z การประยุกต์ใช้โปรแกรมจำลองสถานการณ์ ในกระบวนการกัด เพื่อหาพารามิเตอร์ที่เหมาะสมที่สุด สำหรับการผลิตหัวอ่าน-เขียนฮาร์ดดิสก์ Application of Simulation in Etching Process Parameter Optimization for HDD Slider Fabrication อลงกต ลิ้มเจริญ ชูพงษ์ ภาคภูมิ คมกฤต เล็กสกุล วารสารวิศวกรรมศาสตร์ มหาวิทยาลัยเชียงใหม่ (Engineering Journal Chiang Mai University) เป็นวารสารที่ตีพิมพ์บทความวิชาการในลักษณะบทความวิจัย และบทความปริทัศน์ที่มีคุณภาพสูง ทางด้านวิศวกรรมศาสตร์ วิทยาศาสตร์ และเทคโนโลยี รวมถึงสาขาอื่นที่เกี่ยวข้อง โดยมีเนื้อหาที่เป็นองค์ความรู้พื้นฐานจนกระทั่งการนำไปใช้ประโยชน์ ทั้งในแง่ทฤษฎี การวางแผน การทดลอง การออกแบบ หรือการพัฒนาอุปกรณ์และการจำลองการทำงานของระบบ หรือกระบวนการต่างๆ เป็นต้น โดยเปิดรับบทความวิชาการทางสาขาวิศวกรรมศาสตร์ ตลอดทั้งปี ในกระบวนการกัดชิ้นงานของการผลิตหัวอ่าน-เขียนฮาร์ดดิสก์ เป็นกระบวนการผลิตที่จะต้องใช้เทคโนโลยีขั้นสูง เป็นการกัดโดยใช้หลักการการแตกตัวของไอออน นอกจากนั้นแล้วในส่วนของต้นทุนของวัสดุที่ใช้ในการผลิตยังมีราคาสูง มากเช่นกัน ทั้งนี้ในการผลิตหัวอ่านฮาร์ดดิสก์นั้น มีปัจจัยมากมายที่ส่งผลต่อคุณภาพของชิ้นงาน ซึ่งทางบริษัทเองยังไม่มี ข้อกำหนดหรือองค์ความรู้ในการปรับสภาพที่เหมาะสมของกระบวนการ ปัจจุบันหากแต่ใช้การทดลองสุ่มปฏิบัติและใช้ ประสบการณ์รวมถึงคำแนะนำจากผู้ผลิตเครื่อง เพื่อให้ได้หัวอ่านฮาร์ดดิสก์ตามที่ลูกค้ากำหนด ปัญหาดังกล่าวมีความสำคัญโดยตรงกับคุณภาพของผลิตภัณฑ์หัวอ่านฮาร์ดดิสก์ ดังนั้นผู้วิจัยจึงได้ตระหนักถึง ปัญหาและนำเสนอแนวทางการแก้ปัญหา โดยเริ่มจากการออกแบบการทดลอง (DOE) เพื่อทำการทดลองโดยใช้โปรแกรม การจำลองสถานการณ์การผลิตหัวอ่านฮาร์ดดิสก์ สร้างแบบจำลองทางคณิตศาสตร์แบบการถดถอยแบบหลายตัวแปร ที่ใช้ สำหรับการพยากรณ์ผลตอบ และทำการหาค่าที่เหมาะสมที่สุดของแต่ละพารามิเตอร์ เมื่อได้สภาวะที่เหมาะสมของ กระบวนการทำการผลิตหัวอ่านฮาร์ดดิสก์ตามสภาวะที่เหมาะสมที่สุดแล้ว จึงนำสภาวะที่เหมาะสมที่สุดมาทดลองใช้กับ วิธีการผลิต ซึ่งแนวทางการแก้ปัญหานี้จะสามารถช่วยลดระยะเวลาการผลิต เพิ่มประสิทธิภาพในการผลิต และเพิ่มคุณภาพ ของผลิตภัณฑ์หัวอ่าน-เขียนฮาร์ดดิสก์ โดยเงื่อนไขที่ดีที่สุดของการกัดด้วยเครื่อง RIE ที่ทำให้มีค่ามุมเท่ากับ 60 องศา และค่าความลึกเท่ากับ 2.5 ไมโครเมตร คือ Pressure = 3.6 mTorr, Coil Power = 326 Watt และ Platen Power = 267 Watt ซึ่งจากเงื่อนไข ดังกล่าวค่ามุมจะเท่ากับ 60.08 องศา และความลึกจะเท่ากับ 2.36 ไมโครเมตร ซึ่งผลที่ได้จากการทดลองด้วยเครื่อง RIE นั้น วัดค่ามุมได้ 60.83 องศา และความลึกได้ 2.32 ไมโครเมตร ส่วนผลที่ได้จากการทดลองด้วยโปรแกรมจำลองกระบวนการกัด วัดค่ามุมได้ 62.54 องศา และความลึกได้ 2.39 ไมโครเมตร 2019-05-07T10:02:19Z 2019-05-07T10:02:19Z 2553 บทความวารสาร 0857-2178 http://researchs.eng.cmu.ac.th/UserFiles/File/Journal/17_2/2Alonggot.pdf http://cmuir.cmu.ac.th/jspui/handle/6653943832/64679 Tha มหาวิทยาลัยเชียงใหม่ วารสารวิศวกรรมศาสตร์ |
| institution |
Chiang Mai University |
| building |
Chiang Mai University Library |
| country |
Thailand |
| collection |
CMU Intellectual Repository |
| language |
Tha |
| description |
วารสารวิศวกรรมศาสตร์ มหาวิทยาลัยเชียงใหม่ (Engineering Journal Chiang Mai University) เป็นวารสารที่ตีพิมพ์บทความวิชาการในลักษณะบทความวิจัย และบทความปริทัศน์ที่มีคุณภาพสูง ทางด้านวิศวกรรมศาสตร์ วิทยาศาสตร์ และเทคโนโลยี รวมถึงสาขาอื่นที่เกี่ยวข้อง โดยมีเนื้อหาที่เป็นองค์ความรู้พื้นฐานจนกระทั่งการนำไปใช้ประโยชน์ ทั้งในแง่ทฤษฎี การวางแผน การทดลอง การออกแบบ หรือการพัฒนาอุปกรณ์และการจำลองการทำงานของระบบ หรือกระบวนการต่างๆ เป็นต้น โดยเปิดรับบทความวิชาการทางสาขาวิศวกรรมศาสตร์ ตลอดทั้งปี |
| format |
บทความวารสาร |
| author |
อลงกต ลิ้มเจริญ ชูพงษ์ ภาคภูมิ คมกฤต เล็กสกุล |
| spellingShingle |
อลงกต ลิ้มเจริญ ชูพงษ์ ภาคภูมิ คมกฤต เล็กสกุล การประยุกต์ใช้โปรแกรมจำลองสถานการณ์ ในกระบวนการกัด เพื่อหาพารามิเตอร์ที่เหมาะสมที่สุด สำหรับการผลิตหัวอ่าน-เขียนฮาร์ดดิสก์ |
| author_facet |
อลงกต ลิ้มเจริญ ชูพงษ์ ภาคภูมิ คมกฤต เล็กสกุล |
| author_sort |
อลงกต ลิ้มเจริญ |
| title |
การประยุกต์ใช้โปรแกรมจำลองสถานการณ์ ในกระบวนการกัด
เพื่อหาพารามิเตอร์ที่เหมาะสมที่สุด
สำหรับการผลิตหัวอ่าน-เขียนฮาร์ดดิสก์ |
| title_short |
การประยุกต์ใช้โปรแกรมจำลองสถานการณ์ ในกระบวนการกัด
เพื่อหาพารามิเตอร์ที่เหมาะสมที่สุด
สำหรับการผลิตหัวอ่าน-เขียนฮาร์ดดิสก์ |
| title_full |
การประยุกต์ใช้โปรแกรมจำลองสถานการณ์ ในกระบวนการกัด
เพื่อหาพารามิเตอร์ที่เหมาะสมที่สุด
สำหรับการผลิตหัวอ่าน-เขียนฮาร์ดดิสก์ |
| title_fullStr |
การประยุกต์ใช้โปรแกรมจำลองสถานการณ์ ในกระบวนการกัด
เพื่อหาพารามิเตอร์ที่เหมาะสมที่สุด
สำหรับการผลิตหัวอ่าน-เขียนฮาร์ดดิสก์ |
| title_full_unstemmed |
การประยุกต์ใช้โปรแกรมจำลองสถานการณ์ ในกระบวนการกัด
เพื่อหาพารามิเตอร์ที่เหมาะสมที่สุด
สำหรับการผลิตหัวอ่าน-เขียนฮาร์ดดิสก์ |
| title_sort |
การประยุกต์ใช้โปรแกรมจำลองสถานการณ์ ในกระบวนการกัด
เพื่อหาพารามิเตอร์ที่เหมาะสมที่สุด
สำหรับการผลิตหัวอ่าน-เขียนฮาร์ดดิสก์ |
| publisher |
มหาวิทยาลัยเชียงใหม่ วารสารวิศวกรรมศาสตร์ |
| publishDate |
2019 |
| url |
http://researchs.eng.cmu.ac.th/UserFiles/File/Journal/17_2/2Alonggot.pdf http://cmuir.cmu.ac.th/jspui/handle/6653943832/64679 |
| _version_ |
1681426127492481024 |