การพัฒนาการผลิตซิลิคอนไนไตรด์โดยใช้ตัวเร่งปฏิกิริยา

รายงานฉบับนี้เป็นรายงานความก้าวหน้าของการวิจัยในรอบหนึ่งปีของโครงการพัฒนาการผลิตซิลิคอนไนไตรด์โดยใช้ตัวเร่งปฏิกิริยาซึ่งได้รับการสนับสนุนทุนอุดหนุนการวิจัยจากเงินงบประมาณแผ่นดินประจำปีงบประมาณ 2549 โดยโครงการวิจัยนี้เป็นโครงการต่อเนื่องเป็นปีที่สองต่อจากโครงการวิจัยในปีงบประมาณ 2548 ในโครงการวิจัยนี...

Full description

Saved in:
Bibliographic Details
Main Author: วรงค์ ปวราจารย์
Other Authors: จุฬาลงกรณ์มหาวิทยาลัย. คณะวิศวกรรมศาสตร์
Format: Technical Report
Language:Thai
Published: คณะวิศวกรรมศาสตร์ จุฬาลงกรณ์มหาวิทยาลัย 2010
Subjects:
Online Access:http://cuir.car.chula.ac.th/handle/123456789/13039
Tags: Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
Institution: Chulalongkorn University
Language: Thai
id th-cuir.13039
record_format dspace
spelling th-cuir.130392010-07-14T06:27:45Z การพัฒนาการผลิตซิลิคอนไนไตรด์โดยใช้ตัวเร่งปฏิกิริยา Enhancement of silicon nitride production by using catalyst วรงค์ ปวราจารย์ จุฬาลงกรณ์มหาวิทยาลัย. คณะวิศวกรรมศาสตร์ ซิลิกอนไนไตรด์ ตัวเร่งปฏิกิริยา วัสดุเซรามิก รายงานฉบับนี้เป็นรายงานความก้าวหน้าของการวิจัยในรอบหนึ่งปีของโครงการพัฒนาการผลิตซิลิคอนไนไตรด์โดยใช้ตัวเร่งปฏิกิริยาซึ่งได้รับการสนับสนุนทุนอุดหนุนการวิจัยจากเงินงบประมาณแผ่นดินประจำปีงบประมาณ 2549 โดยโครงการวิจัยนี้เป็นโครงการต่อเนื่องเป็นปีที่สองต่อจากโครงการวิจัยในปีงบประมาณ 2548 ในโครงการวิจัยนี้ได้ศึกษาการสังเคราะห์ซิลิคอนไนไตรด์จาก 2 กระบวนการอันได้แก่ กระบวนการไนไตรเดชันของซิลิคอนและกระบวนการคาร์โบเทอร์มอลของเถ้าแกลบ เพื่อให้สามารถผลิตซิลิคอนไนไตรด์ที่มีเฟส alpha ซึ่งเป็นเฟสเป็นที่ต้องการในปริมาณที่สูงขึ้นด้วยกระบวนที่มีราคาถูก ดังนั้นรายงานฉบับนี้จึงแบ่งออกเป็นสองส่วนใหญ่ๆ ตามกระบวนการทั้งสองนี้ ในส่วนของกระบวนการไนไตรเดชันของซิลิคอนนั้น ได้ทำการศึกษาผลของการใช้ตัวเร่งปฏิกิริยาโลหะ อันได้แก่ แมกนีเซียม ซีเรียม(cerium) อิเทอร์เบียม (yttrium) แคลเซียม ทองแดง และ ลูทิเทียม (lutetium) โดยศึกษาการเกิดปฏิกิริยาไนไตรเดชันโดยใช้การเพิ่มอุณหภูมิแบบเป็นขั้นตอนจาก 1300 ไปเป็น 1390 องศาเซลเซียส และมุ่งเน้นการศึกษาผลของตัวเร่งปฏิกิริยาต่อการเกิดปฏิกิริยาและอัตราส่วนของเฟส alpha ในซิลิคอนไนไตรด์ที่สังเคราะห์ได้ โดยพบว่าสามารถสังเคราะห์ซิลิคอนไนไตรด์ที่มีปริมาณเฟส alpha มากกว่า 95% ได้โดยการใช้ แคลเซียม อิทเทอร์เบียม หรือ อิทเทรียม เป็นตัวเร่งปฏิกิริยา และสามารถสังเคราะห์ได้เฟส alpha สูงมากกว่า 99% ได้โดยการเติมอิทเทอร์เบียมลงไปในซิลิคอนในสัดส่วน 2% โดยมวลหรือโดยการเติมแคลเซียมลงไปในสัดส่วนเพียง 0.125% ในส่วนของกระบวนการคาร์โบเทอร์มอลของเถ้าแกลบนั้นเป็นการศึกษาถึงอิทธิพลของปัจจัยต่างๆ ที่ส่งผลในการเร่งปฏิกิริยาให้สามารถเกิดขึ้นได้ภายในเวลาที่ไม่ยาวนานจนเกินไป รวมถึงการศึกษาผลของตัวเร่งปฏิกิริยาโลหะต่างๆ อันได้แก่ เหล็ก อะลูมิเนียม แมกนีเซียม ทองแดง และ อิทเทรียม โดยพบว่าโลหะเช่นเหล็กและอะลูมิเนียมสามารถช่วยเร่งอัตราการเกิดปฏิกิริยาได้ อย่างไรก็ตามชนิดของโลหะที่ใช้ส่งผลต่อเฟสของซิลิคอนไนไตรด์ที่สังเคราะห์ได้ ในกลุ่มของโลหะที่ศึกษานั้น มีเพียงอิทเทรียมที่ส่งผลในการช่วยเร่งการเกิดซิลิคอนไนไตรด์ในเฟส alpha ทุนงบประมาณแผ่นดิน ปี 2549 2010-07-14T06:27:44Z 2010-07-14T06:27:44Z 2550 Technical Report http://cuir.car.chula.ac.th/handle/123456789/13039 th โครงการวิจัยเลขที่ 83G-CHEM-2549 จุฬาลงกรณ์มหาวิทยาลัย 5108525 bytes application/pdf application/pdf คณะวิศวกรรมศาสตร์ จุฬาลงกรณ์มหาวิทยาลัย
institution Chulalongkorn University
building Chulalongkorn University Library
country Thailand
collection Chulalongkorn University Intellectual Repository
language Thai
topic ซิลิกอนไนไตรด์
ตัวเร่งปฏิกิริยา
วัสดุเซรามิก
spellingShingle ซิลิกอนไนไตรด์
ตัวเร่งปฏิกิริยา
วัสดุเซรามิก
วรงค์ ปวราจารย์
การพัฒนาการผลิตซิลิคอนไนไตรด์โดยใช้ตัวเร่งปฏิกิริยา
description รายงานฉบับนี้เป็นรายงานความก้าวหน้าของการวิจัยในรอบหนึ่งปีของโครงการพัฒนาการผลิตซิลิคอนไนไตรด์โดยใช้ตัวเร่งปฏิกิริยาซึ่งได้รับการสนับสนุนทุนอุดหนุนการวิจัยจากเงินงบประมาณแผ่นดินประจำปีงบประมาณ 2549 โดยโครงการวิจัยนี้เป็นโครงการต่อเนื่องเป็นปีที่สองต่อจากโครงการวิจัยในปีงบประมาณ 2548 ในโครงการวิจัยนี้ได้ศึกษาการสังเคราะห์ซิลิคอนไนไตรด์จาก 2 กระบวนการอันได้แก่ กระบวนการไนไตรเดชันของซิลิคอนและกระบวนการคาร์โบเทอร์มอลของเถ้าแกลบ เพื่อให้สามารถผลิตซิลิคอนไนไตรด์ที่มีเฟส alpha ซึ่งเป็นเฟสเป็นที่ต้องการในปริมาณที่สูงขึ้นด้วยกระบวนที่มีราคาถูก ดังนั้นรายงานฉบับนี้จึงแบ่งออกเป็นสองส่วนใหญ่ๆ ตามกระบวนการทั้งสองนี้ ในส่วนของกระบวนการไนไตรเดชันของซิลิคอนนั้น ได้ทำการศึกษาผลของการใช้ตัวเร่งปฏิกิริยาโลหะ อันได้แก่ แมกนีเซียม ซีเรียม(cerium) อิเทอร์เบียม (yttrium) แคลเซียม ทองแดง และ ลูทิเทียม (lutetium) โดยศึกษาการเกิดปฏิกิริยาไนไตรเดชันโดยใช้การเพิ่มอุณหภูมิแบบเป็นขั้นตอนจาก 1300 ไปเป็น 1390 องศาเซลเซียส และมุ่งเน้นการศึกษาผลของตัวเร่งปฏิกิริยาต่อการเกิดปฏิกิริยาและอัตราส่วนของเฟส alpha ในซิลิคอนไนไตรด์ที่สังเคราะห์ได้ โดยพบว่าสามารถสังเคราะห์ซิลิคอนไนไตรด์ที่มีปริมาณเฟส alpha มากกว่า 95% ได้โดยการใช้ แคลเซียม อิทเทอร์เบียม หรือ อิทเทรียม เป็นตัวเร่งปฏิกิริยา และสามารถสังเคราะห์ได้เฟส alpha สูงมากกว่า 99% ได้โดยการเติมอิทเทอร์เบียมลงไปในซิลิคอนในสัดส่วน 2% โดยมวลหรือโดยการเติมแคลเซียมลงไปในสัดส่วนเพียง 0.125% ในส่วนของกระบวนการคาร์โบเทอร์มอลของเถ้าแกลบนั้นเป็นการศึกษาถึงอิทธิพลของปัจจัยต่างๆ ที่ส่งผลในการเร่งปฏิกิริยาให้สามารถเกิดขึ้นได้ภายในเวลาที่ไม่ยาวนานจนเกินไป รวมถึงการศึกษาผลของตัวเร่งปฏิกิริยาโลหะต่างๆ อันได้แก่ เหล็ก อะลูมิเนียม แมกนีเซียม ทองแดง และ อิทเทรียม โดยพบว่าโลหะเช่นเหล็กและอะลูมิเนียมสามารถช่วยเร่งอัตราการเกิดปฏิกิริยาได้ อย่างไรก็ตามชนิดของโลหะที่ใช้ส่งผลต่อเฟสของซิลิคอนไนไตรด์ที่สังเคราะห์ได้ ในกลุ่มของโลหะที่ศึกษานั้น มีเพียงอิทเทรียมที่ส่งผลในการช่วยเร่งการเกิดซิลิคอนไนไตรด์ในเฟส alpha
author2 จุฬาลงกรณ์มหาวิทยาลัย. คณะวิศวกรรมศาสตร์
author_facet จุฬาลงกรณ์มหาวิทยาลัย. คณะวิศวกรรมศาสตร์
วรงค์ ปวราจารย์
format Technical Report
author วรงค์ ปวราจารย์
author_sort วรงค์ ปวราจารย์
title การพัฒนาการผลิตซิลิคอนไนไตรด์โดยใช้ตัวเร่งปฏิกิริยา
title_short การพัฒนาการผลิตซิลิคอนไนไตรด์โดยใช้ตัวเร่งปฏิกิริยา
title_full การพัฒนาการผลิตซิลิคอนไนไตรด์โดยใช้ตัวเร่งปฏิกิริยา
title_fullStr การพัฒนาการผลิตซิลิคอนไนไตรด์โดยใช้ตัวเร่งปฏิกิริยา
title_full_unstemmed การพัฒนาการผลิตซิลิคอนไนไตรด์โดยใช้ตัวเร่งปฏิกิริยา
title_sort การพัฒนาการผลิตซิลิคอนไนไตรด์โดยใช้ตัวเร่งปฏิกิริยา
publisher คณะวิศวกรรมศาสตร์ จุฬาลงกรณ์มหาวิทยาลัย
publishDate 2010
url http://cuir.car.chula.ac.th/handle/123456789/13039
_version_ 1681414020575264768