Pemanfaatan Magnet Pembelok 600 Pada Ion Implant Or 90 Ke V

• Main Author: Djoni Izak Rudyardjo, -
• Format: Monograph NonPeerReviewed
• Language: Indonesian
• Published: LEMBAGA PENELITIAN UNAIR 1995
• Subjects: QC1-999 Physics; QC871-874.8 Technique, Instructions for Observers
• Online Access: https://repository.unair.ac.id/117387/1/KKC%20KK%20530.072%20REM.pdf; https://repository.unair.ac.id/117387/; http://lib.unair.ac.id
• Institution: Universitas Airlangga

Dalam suatu bahan atau kristal dengan cara mempercepat ion dopan sebelum dicangkokkan. Untuk memperoleh hasil implantasi yang cukup tinggi maka Ion Implantor suatu sistim magnet pembelok. dengan kemurnian dilengkapi dengan Penelitian ini dilakukan untuk mengetahui apakah magnet pembelok dapat digunakan sebagai alat pemisah ion dopan dari ion-ion pengotornya dengan melihat hasil pengukuran medan magnet pada saat arus berkas ion dihasilkan optimum. Adapun tujuan penelitian ini untuk membuat prototype ion implant~r dengan menggunakan magnet pembelok yang mampu memberikan hasil implantasi dengan kemurnian yang cukup tinggi. Penelitian ini dilakukan dengan mengalirkan udara atau suatu gas ke dalam suber ion maka udara atau gas tersebut akan terionkan. Berkas arus ion tersebut kemudian dilewatkan terlebih dahulu pada lensa kuadrupol, magnet pembelok dan penyapu berkas sebelum mencapai sasaran. Dengan mengatur besarnya kuat medan magnet dari sistim magnet pembelok tersebut, akan diperoleh besar arus berkas ion yang bervariasi. Dengan demikian berkas ion akan dipisah-pisahkan sesuai jenis elm yang terkandung didalam berkas ion. Dari hasil penelitian didapatkan kesimpulan bahwa: (1) Untuk keperluan implantasi ion dimana ion-ion yang dicangkokkan harus mempunyai kemurnian yang tinggi, dibutuhkan suatu magnet pembelok yang dapat memisahkan ion-ion tersebut dari pegotor~ya, dan (2) Untuk percobaan dengan udara, pemisahan ion H terjadi pada medan magnet (1,9 ± 0,025) k~. Sedangkan untuk percobaan dengan gas H , pemisahan ion H terjadi pacta medan magnet (1,9 ± O,025) kG.