Pemanfaatan Magnet Pembelok 600 Pada Ion Implant Or 90 Ke V
Dalam suatu bahan atau kristal dengan cara mempercepat ion dopan sebelum dicangkokkan. Untuk memperoleh hasil implantasi yang cukup tinggi maka Ion Implantor suatu sistim magnet pembelok. dengan kemurnian dilengkapi dengan Penelitian ini dilakukan untuk mengetahui apakah magnet pembelok dapat diguna...
Saved in:
Main Author: | |
---|---|
Format: | Monograph NonPeerReviewed |
Language: | Indonesian |
Published: |
LEMBAGA PENELITIAN UNAIR
1995
|
Subjects: | |
Online Access: | https://repository.unair.ac.id/117387/1/KKC%20KK%20530.072%20REM.pdf https://repository.unair.ac.id/117387/ http://lib.unair.ac.id |
Tags: |
Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
|
Institution: | Universitas Airlangga |
Language: | Indonesian |