Kajian pembuatan lapisan tipis piezoelektrik ZnO (Zink Oksida) dengan teknik sputtering dan karakterisasi fisisnya
Saved in:
Main Authors: | , |
---|---|
Format: | Theses and Dissertations NonPeerReviewed |
Published: |
[Yogyakarta] : Universitas Gadjah Mada
1998
|
Subjects: | |
Online Access: | https://repository.ugm.ac.id/42026/ http://etd.ugm.ac.id/index.php?mod=penelitian_detail&sub=PenelitianDetail&act=view&typ=html&buku_id=2891 |
Tags: |
Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
|
Institution: | Universitas Gadjah Mada |
id |
id-ugm-repo.42026 |
---|---|
record_format |
dspace |
spelling |
id-ugm-repo.420262014-08-20T05:58:38Z https://repository.ugm.ac.id/42026/ Kajian pembuatan lapisan tipis piezoelektrik ZnO (Zink Oksida) dengan teknik sputtering dan karakterisasi fisisnya , ERNIWATI , Dr. Kamsul Abraha ETD [Yogyakarta] : Universitas Gadjah Mada 1998 Thesis NonPeerReviewed , ERNIWATI and , Dr. Kamsul Abraha (1998) Kajian pembuatan lapisan tipis piezoelektrik ZnO (Zink Oksida) dengan teknik sputtering dan karakterisasi fisisnya. UNSPECIFIED thesis, UNSPECIFIED. http://etd.ugm.ac.id/index.php?mod=penelitian_detail&sub=PenelitianDetail&act=view&typ=html&buku_id=2891 |
institution |
Universitas Gadjah Mada |
building |
UGM Library |
country |
Indonesia |
collection |
Repository Civitas UGM |
topic |
ETD |
spellingShingle |
ETD , ERNIWATI , Dr. Kamsul Abraha Kajian pembuatan lapisan tipis piezoelektrik ZnO (Zink Oksida) dengan teknik sputtering dan karakterisasi fisisnya |
format |
Theses and Dissertations NonPeerReviewed |
author |
, ERNIWATI , Dr. Kamsul Abraha |
author_facet |
, ERNIWATI , Dr. Kamsul Abraha |
author_sort |
, ERNIWATI |
title |
Kajian pembuatan lapisan tipis piezoelektrik ZnO (Zink Oksida) dengan teknik sputtering dan karakterisasi fisisnya |
title_short |
Kajian pembuatan lapisan tipis piezoelektrik ZnO (Zink Oksida) dengan teknik sputtering dan karakterisasi fisisnya |
title_full |
Kajian pembuatan lapisan tipis piezoelektrik ZnO (Zink Oksida) dengan teknik sputtering dan karakterisasi fisisnya |
title_fullStr |
Kajian pembuatan lapisan tipis piezoelektrik ZnO (Zink Oksida) dengan teknik sputtering dan karakterisasi fisisnya |
title_full_unstemmed |
Kajian pembuatan lapisan tipis piezoelektrik ZnO (Zink Oksida) dengan teknik sputtering dan karakterisasi fisisnya |
title_sort |
kajian pembuatan lapisan tipis piezoelektrik zno (zink oksida) dengan teknik sputtering dan karakterisasi fisisnya |
publisher |
[Yogyakarta] : Universitas Gadjah Mada |
publishDate |
1998 |
url |
https://repository.ugm.ac.id/42026/ http://etd.ugm.ac.id/index.php?mod=penelitian_detail&sub=PenelitianDetail&act=view&typ=html&buku_id=2891 |
_version_ |
1681220066442477568 |