Kajian pembuatan lapisan tipis piezoelektrik ZnO (Zink Oksida) dengan teknik sputtering dan karakterisasi fisisnya

Saved in:
Bibliographic Details
Main Authors: , ERNIWATI, , Dr. Kamsul Abraha
Format: Theses and Dissertations NonPeerReviewed
Published: [Yogyakarta] : Universitas Gadjah Mada 1998
Subjects:
ETD
Online Access:https://repository.ugm.ac.id/42026/
http://etd.ugm.ac.id/index.php?mod=penelitian_detail&sub=PenelitianDetail&act=view&typ=html&buku_id=2891
Tags: Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
Institution: Universitas Gadjah Mada
id id-ugm-repo.42026
record_format dspace
spelling id-ugm-repo.420262014-08-20T05:58:38Z https://repository.ugm.ac.id/42026/ Kajian pembuatan lapisan tipis piezoelektrik ZnO (Zink Oksida) dengan teknik sputtering dan karakterisasi fisisnya , ERNIWATI , Dr. Kamsul Abraha ETD [Yogyakarta] : Universitas Gadjah Mada 1998 Thesis NonPeerReviewed , ERNIWATI and , Dr. Kamsul Abraha (1998) Kajian pembuatan lapisan tipis piezoelektrik ZnO (Zink Oksida) dengan teknik sputtering dan karakterisasi fisisnya. UNSPECIFIED thesis, UNSPECIFIED. http://etd.ugm.ac.id/index.php?mod=penelitian_detail&sub=PenelitianDetail&act=view&typ=html&buku_id=2891
institution Universitas Gadjah Mada
building UGM Library
country Indonesia
collection Repository Civitas UGM
topic ETD
spellingShingle ETD
, ERNIWATI
, Dr. Kamsul Abraha
Kajian pembuatan lapisan tipis piezoelektrik ZnO (Zink Oksida) dengan teknik sputtering dan karakterisasi fisisnya
format Theses and Dissertations
NonPeerReviewed
author , ERNIWATI
, Dr. Kamsul Abraha
author_facet , ERNIWATI
, Dr. Kamsul Abraha
author_sort , ERNIWATI
title Kajian pembuatan lapisan tipis piezoelektrik ZnO (Zink Oksida) dengan teknik sputtering dan karakterisasi fisisnya
title_short Kajian pembuatan lapisan tipis piezoelektrik ZnO (Zink Oksida) dengan teknik sputtering dan karakterisasi fisisnya
title_full Kajian pembuatan lapisan tipis piezoelektrik ZnO (Zink Oksida) dengan teknik sputtering dan karakterisasi fisisnya
title_fullStr Kajian pembuatan lapisan tipis piezoelektrik ZnO (Zink Oksida) dengan teknik sputtering dan karakterisasi fisisnya
title_full_unstemmed Kajian pembuatan lapisan tipis piezoelektrik ZnO (Zink Oksida) dengan teknik sputtering dan karakterisasi fisisnya
title_sort kajian pembuatan lapisan tipis piezoelektrik zno (zink oksida) dengan teknik sputtering dan karakterisasi fisisnya
publisher [Yogyakarta] : Universitas Gadjah Mada
publishDate 1998
url https://repository.ugm.ac.id/42026/
http://etd.ugm.ac.id/index.php?mod=penelitian_detail&sub=PenelitianDetail&act=view&typ=html&buku_id=2891
_version_ 1681220066442477568