Pembangunan reaktor DC PECVD dan kajian struktur filem tipis karbon amorfus terhidrogen (a-C:H)
Saved in:
Main Author: | |
---|---|
Format: | Thesis |
Published: |
2004
|
Subjects: | |
Online Access: | http://eprints.utm.my/id/eprint/32368/ |
Tags: |
Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
|
Institution: | Universiti Teknologi Malaysia |
id |
my.utm.32368 |
---|---|
record_format |
eprints |
spelling |
my.utm.323682017-08-02T07:25:31Z http://eprints.utm.my/id/eprint/32368/ Pembangunan reaktor DC PECVD dan kajian struktur filem tipis karbon amorfus terhidrogen (a-C:H) Marwoto, Putut T Technology (General) 2004 Thesis NonPeerReviewed Marwoto, Putut (2004) Pembangunan reaktor DC PECVD dan kajian struktur filem tipis karbon amorfus terhidrogen (a-C:H). PhD thesis, Universiti Teknologi Malaysia, Faculty of Science. |
institution |
Universiti Teknologi Malaysia |
building |
UTM Library |
collection |
Institutional Repository |
continent |
Asia |
country |
Malaysia |
content_provider |
Universiti Teknologi Malaysia |
content_source |
UTM Institutional Repository |
url_provider |
http://eprints.utm.my/ |
topic |
T Technology (General) |
spellingShingle |
T Technology (General) Marwoto, Putut Pembangunan reaktor DC PECVD dan kajian struktur filem tipis karbon amorfus terhidrogen (a-C:H) |
format |
Thesis |
author |
Marwoto, Putut |
author_facet |
Marwoto, Putut |
author_sort |
Marwoto, Putut |
title |
Pembangunan reaktor DC PECVD dan kajian struktur filem tipis karbon amorfus terhidrogen (a-C:H) |
title_short |
Pembangunan reaktor DC PECVD dan kajian struktur filem tipis karbon amorfus terhidrogen (a-C:H) |
title_full |
Pembangunan reaktor DC PECVD dan kajian struktur filem tipis karbon amorfus terhidrogen (a-C:H) |
title_fullStr |
Pembangunan reaktor DC PECVD dan kajian struktur filem tipis karbon amorfus terhidrogen (a-C:H) |
title_full_unstemmed |
Pembangunan reaktor DC PECVD dan kajian struktur filem tipis karbon amorfus terhidrogen (a-C:H) |
title_sort |
pembangunan reaktor dc pecvd dan kajian struktur filem tipis karbon amorfus terhidrogen (a-c:h) |
publishDate |
2004 |
url |
http://eprints.utm.my/id/eprint/32368/ |
_version_ |
1643649019254145024 |