Pembangunan reaktor DC PECVD dan kajian struktur filem tipis karbon amorfus terhidrogen (a-C:H)

Saved in:
Bibliographic Details
Main Author: Marwoto, Putut
Format: Thesis
Published: 2004
Subjects:
Online Access:http://eprints.utm.my/id/eprint/32368/
Tags: Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
Institution: Universiti Teknologi Malaysia
id my.utm.32368
record_format eprints
spelling my.utm.323682017-08-02T07:25:31Z http://eprints.utm.my/id/eprint/32368/ Pembangunan reaktor DC PECVD dan kajian struktur filem tipis karbon amorfus terhidrogen (a-C:H) Marwoto, Putut T Technology (General) 2004 Thesis NonPeerReviewed Marwoto, Putut (2004) Pembangunan reaktor DC PECVD dan kajian struktur filem tipis karbon amorfus terhidrogen (a-C:H). PhD thesis, Universiti Teknologi Malaysia, Faculty of Science.
institution Universiti Teknologi Malaysia
building UTM Library
collection Institutional Repository
continent Asia
country Malaysia
content_provider Universiti Teknologi Malaysia
content_source UTM Institutional Repository
url_provider http://eprints.utm.my/
topic T Technology (General)
spellingShingle T Technology (General)
Marwoto, Putut
Pembangunan reaktor DC PECVD dan kajian struktur filem tipis karbon amorfus terhidrogen (a-C:H)
format Thesis
author Marwoto, Putut
author_facet Marwoto, Putut
author_sort Marwoto, Putut
title Pembangunan reaktor DC PECVD dan kajian struktur filem tipis karbon amorfus terhidrogen (a-C:H)
title_short Pembangunan reaktor DC PECVD dan kajian struktur filem tipis karbon amorfus terhidrogen (a-C:H)
title_full Pembangunan reaktor DC PECVD dan kajian struktur filem tipis karbon amorfus terhidrogen (a-C:H)
title_fullStr Pembangunan reaktor DC PECVD dan kajian struktur filem tipis karbon amorfus terhidrogen (a-C:H)
title_full_unstemmed Pembangunan reaktor DC PECVD dan kajian struktur filem tipis karbon amorfus terhidrogen (a-C:H)
title_sort pembangunan reaktor dc pecvd dan kajian struktur filem tipis karbon amorfus terhidrogen (a-c:h)
publishDate 2004
url http://eprints.utm.my/id/eprint/32368/
_version_ 1643649019254145024