Nghiên cứu, chế tạo và ứng dụng cảm biến sinh học dựa trên cấu trúc Nano silicon
Giới thiệu sơ lược về cảm biến sinh học và cảm biến sinh học. Nghiên cứu qui trình chế tạo deposition and etching under angle (DEA) và Các kĩ thuật và công nghệ cơ bản của DEA để chế tạo sợi nano silicon. Trình bày chi tiết các bước chế tạo sợi nano silicon bằng phương pháp DEA-Kêt quả chế tạo. Kh...
Saved in:
| Main Author: | |
|---|---|
| Other Authors: | |
| Format: | Theses and Dissertations |
| Language: | Vietnamese |
| Published: |
2016
|
| Subjects: | |
| Online Access: | http://repository.vnu.edu.vn/handle/VNU_123/16345 |
| Tags: |
Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
|
| Institution: | Vietnam National University, Hanoi |
| Language: | Vietnamese |
| Summary: | Giới thiệu sơ lược về cảm biến sinh học và cảm biến sinh học. Nghiên cứu qui trình chế tạo deposition and etching under angle (DEA) và Các kĩ thuật và công nghệ cơ bản của DEA để chế tạo sợi nano silicon. Trình bày chi tiết các bước chế tạo sợi nano silicon bằng phương
pháp DEA-Kêt quả chế tạo. Khảo sát khả năng phát hiện DNA của cảm biến |
|---|