Nghiên cứu, chế tạo và ứng dụng cảm biến sinh học dựa trên cấu trúc Nano silicon
Giới thiệu sơ lược về cảm biến sinh học và cảm biến sinh học. Nghiên cứu qui trình chế tạo deposition and etching under angle (DEA) và Các kĩ thuật và công nghệ cơ bản của DEA để chế tạo sợi nano silicon. Trình bày chi tiết các bước chế tạo sợi nano silicon bằng phương pháp DEA-Kêt quả chế tạo. Kh...
Saved in:
| 主要作者: | |
|---|---|
| 其他作者: | |
| 格式: | Theses and Dissertations |
| 語言: | Vietnamese |
| 出版: |
2016
|
| 主題: | |
| 在線閱讀: | http://repository.vnu.edu.vn/handle/VNU_123/16345 |
| 標簽: |
添加標簽
沒有標簽, 成為第一個標記此記錄!
|