Tối ưu tính chất sắt điện của màng mỏng PZT được xử lý nhiệt và kết tinh trong môi trường Ozone

• Main Author: Nguyễn, Văn Lợi
• Other Authors: Bùi, Nguyên Quốc Trình
• Format: Theses and Dissertations
• Language: Vietnamese
• Published: H. : Trường Đại học Khoa học tự nhiên 2018
• Subjects: Chất rắn; Đặc tính điện; Sắt điện; Tính chất và đặc tính
• Online Access: http://repository.vnu.edu.vn/handle/VNU_123/62446
• Institution: Vietnam National University, Hanoi

Vật liệu màng mỏng có cấu trúc Perovskite Pb[ZrxTi1-x]O3 (ký hiệu là PZT) đã và đang thu hút được nhiều sự quan tâm của các nhà nguyên cứu, nhằm ứng dụng cho bộ nhớ sắt điện (FeRAM) hay các thiết bị vi điện tử MEMS/NEMS. Với những ưu điểm vượt trội như độ phân cực dư lớn, trường kháng điện nhỏ thích hợp với những thiết bị hoạt động ở thế điều khiển thấp và nhiệt độ kết tinh có thể hạ xuống thấp hơn so với một số loại vật liệu khác. Nội dung chính của luận văn này là tiến hành nghiên cứu và chế tạo màng mỏng PZT bằng phương pháp dung dịch, vì đây là phương pháp đơn giản có chi phí đầu tư thấp, tiêu hao ít vật liệu và năng lượng phù hợp với điều kiện nghiên cứu của Việt Nam. Do đó công việc chính của luận văn này, là tiến hành khảo sát sự ảnh hưởng của nhiệt độ ủ, môi trường ủ Ozone lên cấu trúc tinh thể, đặc trưng sắt điện cũng như dòng rò của màng mỏng được chế tạo, thay thế cho môi trường ủ truyền thống N2:O2. Các kết quả cho thấy, PZT ủ trong môi trường Ozone bằng lò ủ nhiệt chậm có dấu hiệu kết tinh ở nhiệt độ 500oC với định hướng ưu tiên (111). Ngoài ra còn xuất hiện thêm định hướng khác là (100) và (200) tuy nhiên xuất hiện cường độ nhỏ hơn. Màng mỏng này cho cấu trúc tinh thể, dòng rò khá tốt ở 650oC, tuy nhiên với việc sử dụng điện cực trên bằng vàng (Au) thay thế cho điện trên bằng Platin (Pt), kết quả cho thấy đặc trưng điện trễ chưa được hình thành.