Tối ưu tính chất sắt điện của màng mỏng PZT được xử lý nhiệt và kết tinh trong môi trường Ozone

• Main Author: Nguyễn, Văn Lợi
• Other Authors: Bùi, Nguyên Quốc Trình
• Format: Theses and Dissertations
• Language: Vietnamese
• Published: H. : Trường Đại học Khoa học tự nhiên 2018
• Subjects: Chất rắn; Đặc tính điện; Sắt điện; Tính chất và đặc tính
• Online Access: http://repository.vnu.edu.vn/handle/VNU_123/62446
• Institution: Vietnam National University, Hanoi

Vật liệu màng mỏng có cấu trúc Perovskite Pb[ZrxTi1-x]O3 (ký hiệu là PZT) đã và đang thu hút được nhiều sự quan tâm của các nhà nguyên cứu, nhằm ứng dụng cho bộ nhớ sắt điện (FeRAM) hay các thiết bị vi điện tử MEMS/NEMS. Với những ưu điểm vượt trội như độ phân cực dư lớn, trường kháng điện nhỏ thích...