Chế tạo kênh vi lưu sử dụng laze CO2 đầu lắc Galvo kết hợp với phương pháp ép kênh cơ học

• Main Authors: Hồ, Anh Tâm, Nguyễn, Việt Hùng, Nguyễn, Hữu Đức, Đỗ, Thị Hương Giang
• Other Authors: VNU Journal of Science: Natural Sciences and Technology
• Format: Article
• Language: Vietnamese
• Published: H. : ĐHQGHN 2019
• Subjects: Kênh dẫn vi lưu; Laze CO2; Đầu lắc Galvo; Ép kênh cơ học
• Online Access: http://repository.vnu.edu.vn/handle/VNU_123/64854; https://doi.org/10.25073/2588-1140/vnunst.4913
• Institution: Vietnam National University, Hanoi

Vi kênh trong công nghệ micrô là một kênh có đường kính thủy lực dưới 1 mm. Vi kênh chủ yếu được sử dụng trong các thiết bị y sinh và các ứng dụng vi lưu. Chế tạo vi kênh luôn là một nhiệm vụ phức tạp ngay cả tại các trung tâm xuất sắc trên thế giới. Bài báo này đề cập đến kỹ thuật chế tạo để tạo ra...