Chế tạo kênh vi lưu sử dụng laze CO2 đầu lắc Galvo kết hợp với phương pháp ép kênh cơ học

• Main Authors: Hồ, Anh Tâm, Nguyễn, Việt Hùng, Nguyễn, Hữu Đức, Đỗ, Thị Hương Giang
• Other Authors: VNU Journal of Science: Natural Sciences and Technology
• Format: Article
• Language: Vietnamese
• Published: H. : ĐHQGHN 2019
• Subjects: Kênh dẫn vi lưu; Laze CO2; Đầu lắc Galvo; Ép kênh cơ học
• Online Access: http://repository.vnu.edu.vn/handle/VNU_123/64854; https://doi.org/10.25073/2588-1140/vnunst.4913
• Institution: Vietnam National University, Hanoi

Vi kênh trong công nghệ micrô là một kênh có đường kính thủy lực dưới 1 mm. Vi kênh chủ yếu được sử dụng trong các thiết bị y sinh và các ứng dụng vi lưu. Chế tạo vi kênh luôn là một nhiệm vụ phức tạp ngay cả tại các trung tâm xuất sắc trên thế giới. Bài báo này đề cập đến kỹ thuật chế tạo để tạo ra các vi kênh bằng cách sử dụng máy Laze CO2 có đầu lắc Galvo công suất 40W. Phương pháp này có thể điều khiển kích thước vi kênh bằng cách thay đổi công suất, tốc độ quét, thời gian quét của nguồn laze. Kết quả cho thấy độ rộng kênh được tạo ra tăng lên khi tăng công suất nguồn laze và giảm tốc độ quét. Tương tự, độ sâu của kênh cũng được tăng cường với việc tăng cường công suất nguồn. Với một giải pháp phù hợp, có thể chế tạo được các vi kênh có kích thước chiều rộng và chiều sâu tối thiểu là 50 µm × 50 µm. Trong trường hợp này, độ gồ ghề của mặt kênh dẫn là 2-3 µm. Vi kênh được đóng gói, hoàn thiện bằng phương pháp nhiệt cơ ở 220 oC. Chúng đã được thử nghiệm thành công trong hai hiệu ứng chảy tầng và tạo giọt. Đây là một phương pháp mới để chế tạo các thiết bị vi kênh nhanh hơn và rẻ hơn. Việc xây dựng thành công cũng như tối ưu hóa quy trình chế tạo kênh dẫn vi lưu sử dụng laze và phương pháp đóng gói kênh đơn giản sẽ mở ra nhiều hướng đi cho sự phát triển công nghệ vi lưu vào thực tế