Chế tạo màng mỏng Si3N4, SiO2 và màng treo Si3N4 bằng phương pháp lắng đọng hơi hóa học tăng cường plasma
Giới thiệu cấu trúc, tính chất và ứng dụng của màng mỏng Si3N4 và SiO2 cũng như màng treo Si3N4. Trình bày một số phƣơng pháp chế tạo màng mỏng và màng treo đang đƣợc nghiên cứu. Thực nghiệm và các phương pháp nghiên cứu. Giới thiệu tổng quan về thiết bị sử dụng và trình bày quá trình chế tạo màng m...
Saved in:
| Main Author: | |
|---|---|
| Other Authors: | |
| Format: | Theses |
| Language: | Vietnamese |
| Published: |
2020
|
| Subjects: | |
| Online Access: | http://repository.vnu.edu.vn/handle/VNU_123/69669 |
| Tags: |
Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
|
| Institution: | Vietnam National University, Hanoi |
| Language: | Vietnamese |