Nghiên cứu, thiết kế và mô phỏng bộ cảm biến vi lỏng có cấu trúc SAW đứng trên vật liệu AIN
Trình bày các thành phần và đặc tính truyền sóng của SAW hoạt động trong môi trường lỏng và điều kiện truyền giữa hai môi trường. Nghiên cứu các tính chất điện và cơ của SAW trên đế áp điện phổ biến hiện nay, LiNO3, và vật liệu CMOS, AlN, khi có tác động của chất lỏng như mật độ, độ nhớt...
Saved in:
| Main Author: | |
|---|---|
| Format: | Theses and Dissertations |
| Language: | other |
| Published: |
Đại học Quốc gia Hà Nội
2016
|
| Subjects: | |
| Online Access: | http://repository.vnu.edu.vn/handle/VNU_123/8255 |
| Tags: |
Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
|
| Institution: | Vietnam National University, Hanoi |
| Language: | other |
| Summary: | Trình bày các thành phần và đặc tính truyền sóng của SAW hoạt
động trong môi trường lỏng và điều kiện truyền giữa hai môi trường. Nghiên
cứu các tính chất điện và cơ của SAW trên đế áp điện phổ biến hiện nay,
LiNO3, và vật liệu CMOS, AlN, khi có tác động của chất lỏng như mật độ,
độ nhớt và chuyển động trong các kênh cảm biến. Bộ cảm biến SAW cho
ứng dụng vi lỏng. Khả năng tích hợp trong ứng dụng cảm biến mực. |
|---|