Nghiên cứu, thiết kế và mô phỏng bộ cảm biến vi lỏng có cấu trúc SAW đứng trên vật liệu AIN
Trình bày các thành phần và đặc tính truyền sóng của SAW hoạt động trong môi trường lỏng và điều kiện truyền giữa hai môi trường. Nghiên cứu các tính chất điện và cơ của SAW trên đế áp điện phổ biến hiện nay, LiNO3, và vật liệu CMOS, AlN, khi có tác động của chất lỏng như mật độ, độ nhớt...
Saved in:
主要作者: | |
---|---|
格式: | Theses and Dissertations |
語言: | other |
出版: |
Đại học Quốc gia Hà Nội
2016
|
主題: | |
在線閱讀: | http://repository.vnu.edu.vn/handle/VNU_123/8255 |
標簽: |
添加標簽
沒有標簽, 成為第一個標記此記錄!
|