Nghiên cứu mô phỏng và khảo sát cảm biến áp suất kiểu áp trở chế tạo trên cơ sở công nghệ vi cơ điện tử (MEMS)
Tổng quan về hệ vi cơ điện tử MEMS và hiệu ứng điện trở trong vật liệu bán dẫn silic. Tìm hiểu về công nghệ chế tạo và các vật liệu ứng dụng trong MEMS. Hiệu ứng áp điện trở trong vật liệu bán dẫn silic cho phép tìm ra quy tắc thiết kế các mô hình cảm biến cũng như cho phép tối ưu hóa các thiế...
Saved in:
| Main Author: | |
|---|---|
| Format: | Theses and Dissertations |
| Language: | other |
| Published: |
Đại học Quốc gia Hà Nội
2016
|
| Subjects: | |
| Online Access: | http://repository.vnu.edu.vn/handle/VNU_123/8447 |
| Tags: |
Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
|
| Institution: | Vietnam National University, Hanoi |
| Language: | other |
| id |
oai:112.137.131.14:VNU_123-8447 |
|---|---|
| record_format |
dspace |
| spelling |
oai:112.137.131.14:VNU_123-84472016-04-14T20:02:39Z Nghiên cứu mô phỏng và khảo sát cảm biến áp suất kiểu áp trở chế tạo trên cơ sở công nghệ vi cơ điện tử (MEMS) Nguyễn, Hữu Khánh Nhân Công nghệ vi cơ điện tử Cảm biến áp suất Khoa học vật liệu Vật liệu bán dẫn silic Tổng quan về hệ vi cơ điện tử MEMS và hiệu ứng điện trở trong vật liệu bán dẫn silic. Tìm hiểu về công nghệ chế tạo và các vật liệu ứng dụng trong MEMS. Hiệu ứng áp điện trở trong vật liệu bán dẫn silic cho phép tìm ra quy tắc thiết kế các mô hình cảm biến cũng như cho phép tối ưu hóa các thiết kế đó. Đưa ra các biểu thức định lượng cần thiết trên phương diện toán học. Đi sâu tìm hiểu các loại cảm biến áp suất khác nhau, sử dụng công nghệ MEMS. Thiết kế và mô phỏng cảm biến áp suất điện trở trên cơ sở dùng phương pháp giải tích. Mô phỏng đặc tính cơ học của màng cảm biến dùng phần mềm ANSYS và phương pháp phần tử hữu hạn. Xây dựng bài toán mô phỏng sự tương tác các trường vật lý, khảo sát các tham số ảnh hưởng đến linh kiện và thiết kế mặt nạ để phục vụ quá trình chế tạo. Tiến hành xây dựng hệ đo cảm biến áp suất sau khi linh kiện được chế tạo, với các thiết bị đo lường được kết nối thông qua chuẩn giao tiếp RS232. Truy xuất được các đại lượng cần đo và kết quả đo với sự hỗ trợ phần mềm LabView 2016-04-14T05:35:20Z 2016-04-14T05:35:20Z 2008 Thesis 4 tr. http://repository.vnu.edu.vn/handle/VNU_123/8447 other application/pdf Đại học Quốc gia Hà Nội |
| institution |
Vietnam National University, Hanoi |
| building |
VNU Library & Information Center |
| country |
Vietnam |
| collection |
VNU Digital Repository |
| language |
other |
| topic |
Công nghệ vi cơ điện tử Cảm biến áp suất Khoa học vật liệu Vật liệu bán dẫn silic |
| spellingShingle |
Công nghệ vi cơ điện tử Cảm biến áp suất Khoa học vật liệu Vật liệu bán dẫn silic Nguyễn, Hữu Khánh Nhân Nghiên cứu mô phỏng và khảo sát cảm biến áp suất kiểu áp trở chế tạo trên cơ sở công nghệ vi cơ điện tử (MEMS) |
| description |
Tổng quan về hệ vi cơ điện tử MEMS và hiệu ứng điện trở trong vật liệu
bán dẫn silic. Tìm hiểu về công nghệ chế tạo và các vật liệu ứng dụng trong MEMS.
Hiệu ứng áp điện trở trong vật liệu bán dẫn silic cho phép tìm ra quy tắc thiết kế các
mô hình cảm biến cũng như cho phép tối ưu hóa các thiết kế đó. Đưa ra các biểu thức
định lượng cần thiết trên phương diện toán học. Đi sâu tìm hiểu các loại cảm biến áp
suất khác nhau, sử dụng công nghệ MEMS. Thiết kế và mô phỏng cảm biến áp suất
điện trở trên cơ sở dùng phương pháp giải tích. Mô phỏng đặc tính cơ học của màng
cảm biến dùng phần mềm ANSYS và phương pháp phần tử hữu hạn. Xây dựng bài
toán mô phỏng sự tương tác các trường vật lý, khảo sát các tham số ảnh hưởng đến
linh kiện và thiết kế mặt nạ để phục vụ quá trình chế tạo. Tiến hành xây dựng hệ đo
cảm biến áp suất sau khi linh kiện được chế tạo, với các thiết bị đo lường được kết nối
thông qua chuẩn giao tiếp RS232. Truy xuất được các đại lượng cần đo và kết quả đo
với sự hỗ trợ phần mềm LabView |
| format |
Theses and Dissertations |
| author |
Nguyễn, Hữu Khánh Nhân |
| author_facet |
Nguyễn, Hữu Khánh Nhân |
| author_sort |
Nguyễn, Hữu Khánh Nhân |
| title |
Nghiên cứu mô phỏng và khảo sát cảm biến áp suất kiểu áp trở chế tạo trên cơ sở công nghệ vi cơ điện tử (MEMS) |
| title_short |
Nghiên cứu mô phỏng và khảo sát cảm biến áp suất kiểu áp trở chế tạo trên cơ sở công nghệ vi cơ điện tử (MEMS) |
| title_full |
Nghiên cứu mô phỏng và khảo sát cảm biến áp suất kiểu áp trở chế tạo trên cơ sở công nghệ vi cơ điện tử (MEMS) |
| title_fullStr |
Nghiên cứu mô phỏng và khảo sát cảm biến áp suất kiểu áp trở chế tạo trên cơ sở công nghệ vi cơ điện tử (MEMS) |
| title_full_unstemmed |
Nghiên cứu mô phỏng và khảo sát cảm biến áp suất kiểu áp trở chế tạo trên cơ sở công nghệ vi cơ điện tử (MEMS) |
| title_sort |
nghiên cứu mô phỏng và khảo sát cảm biến áp suất kiểu áp trở chế tạo trên cơ sở công nghệ vi cơ điện tử (mems) |
| publisher |
Đại học Quốc gia Hà Nội |
| publishDate |
2016 |
| url |
http://repository.vnu.edu.vn/handle/VNU_123/8447 |
| _version_ |
1680968179616055296 |