Nghiên cứu mô phỏng và khảo sát cảm biến áp suất kiểu áp trở chế tạo trên cơ sở công nghệ vi cơ điện tử (MEMS)

• Main Author: Nguyễn, Hữu Khánh Nhân
• Format: Theses and Dissertations
• Language: other
• Published: Đại học Quốc gia Hà Nội 2016
• Subjects: Công nghệ vi cơ điện tử; Cảm biến áp suất; Khoa học vật liệu; Vật liệu bán dẫn silic
• Online Access: http://repository.vnu.edu.vn/handle/VNU_123/8447
• Institution: Vietnam National University, Hanoi

Tổng quan về hệ vi cơ điện tử MEMS và hiệu ứng điện trở trong vật liệu bán dẫn silic. Tìm hiểu về công nghệ chế tạo và các vật liệu ứng dụng trong MEMS. Hiệu ứng áp điện trở trong vật liệu bán dẫn silic cho phép tìm ra quy tắc thiết kế các mô hình cảm biến cũng như cho phép tối ưu hóa các thiế...