Optimization of diffusion batch size based on real-time information
Diffusion is one of the operations that are run on batching basis in semiconductor fabrication. Due to its long processing time and being non-pre-emptive, operators and supervisors on the shop floor are frequently facing the dilemma that whether to launch the next batch promptly with availa...
محفوظ في:
| المؤلف الرئيسي: | |
|---|---|
| مؤلفون آخرون: | |
| التنسيق: | Theses and Dissertations |
| اللغة: | English |
| منشور في: |
2013
|
| الموضوعات: | |
| الوصول للمادة أونلاين: | http://hdl.handle.net/10356/54719 |
| الوسوم: |
إضافة وسم
لا توجد وسوم, كن أول من يضع وسما على هذه التسجيلة!
|
| المؤسسة: | Nanyang Technological University |
| اللغة: | English |