Implementation of optical character recognition (OCR) module on semiconductor etching tools for wafer tracking
This dissertation presents a brief introduction to the semiconductor industry and elaborates the implementation of a typical optical character recognition (OCR) module on one particular processing type of semiconductor processing tool, namely the etching tool. The OCR module was implemented to assis...
محفوظ في:
| المؤلف الرئيسي: | |
|---|---|
| مؤلفون آخرون: | |
| التنسيق: | Theses and Dissertations |
| منشور في: |
2008
|
| الموضوعات: | |
| الوصول للمادة أونلاين: | http://hdl.handle.net/10356/5924 |
| الوسوم: |
إضافة وسم
لا توجد وسوم, كن أول من يضع وسما على هذه التسجيلة!
|
| المؤسسة: | Nanyang Technological University |