Micro-systems mechanics Vol. IV
With the ever-increasing need for larger capacity of hard disk drives (HDDs), conventional servo mechanism - voice coil motor (VCM) - has become a main barrier for higher areal density recording (over 50Gb/in2). In this work, we present a novel micro electrostatic actuator capable of 2-dimensional f...
محفوظ في:
| المؤلفون الرئيسيون: | , |
|---|---|
| مؤلفون آخرون: | |
| التنسيق: | Research Report |
| منشور في: |
2008
|
| الموضوعات: | |
| الوصول للمادة أونلاين: | http://hdl.handle.net/10356/6846 |
| الوسوم: |
إضافة وسم
لا توجد وسوم, كن أول من يضع وسما على هذه التسجيلة!
|