Fabrication of nanostructures with laser interference lithography

10.1016/j.jallcom.2006.02.115

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書目詳細資料
Main Authors: Xie, Q., Hong, M.H., Tan, H.L., Chen, G.X., Shi, L.P., Chong, T.C.
其他作者: ELECTRICAL & COMPUTER ENGINEERING
格式: Article
出版: 2014
主題:
在線閱讀:http://scholarbank.nus.edu.sg/handle/10635/55988
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機構: National University of Singapore