Tribo-functionalizing Si and SU8 materials by surface modification for application in MEMS/NEMS actuator-based devices

• المؤلفون الرئيسيون: Singh, R.A., Satyanarayana, N., Kustandi, T.S., Sinha, S.K.
• مؤلفون آخرون: MECHANICAL ENGINEERING
• التنسيق: مقال
• منشور في: 2014
• الوصول للمادة أونلاين: http://scholarbank.nus.edu.sg/handle/10635/61622

10.1088/0022-3727/44/1/015301