Electrostatic spring effect on the dynamic performance of microresonators

• المؤلفون الرئيسيون: Francis Tay, E.H., Kumaran, R., Chua, B.L., Logeeswaran, V.J.
• مؤلفون آخرون: MECHANICAL & PRODUCTION ENGINEERING
• التنسيق: Conference or Workshop Item
• منشور في: 2014
• الموضوعات: Electrostatic spring effect; Natural frequency; Resonator; Simulation; Uncertainty analysis
• الوصول للمادة أونلاين: http://scholarbank.nus.edu.sg/handle/10635/74991

2000 International Conference on Modeling and Simulation of Microsystems - MSM 2000