A piezoelectric-driven three-dimensional MEMS VOA using attenuation mechanism with combination of rotational and translational effects

10.1109/JMEMS.2010.2076785

محفوظ في:
التفاصيل البيبلوغرافية
المؤلفون الرئيسيون: Koh, K.H., Lee, C., Kobayashi, T.
مؤلفون آخرون: ELECTRICAL & COMPUTER ENGINEERING
التنسيق: مقال
منشور في: 2014
الموضوعات:
PZT
الوصول للمادة أونلاين:http://scholarbank.nus.edu.sg/handle/10635/81902
الوسوم: إضافة وسم
لا توجد وسوم, كن أول من يضع وسما على هذه التسجيلة!
المؤسسة: National University of Singapore