Torsional mirror driven by a cantilever beam integrated with 1x10 individually biased PZT array actuator for VOA application

• المؤلفون الرئيسيون: Koh, K.H., Kobayashi, T., Lee, C.
• مؤلفون آخرون: ELECTRICAL & COMPUTER ENGINEERING
• التنسيق: Conference or Workshop Item
• منشور في: 2014
• الوصول للمادة أونلاين: http://scholarbank.nus.edu.sg/handle/10635/84310
• المؤسسة: National University of Singapore

10.1109/OMEMS.2010.5672154