Robust design for etching process parameters of hard disk drive slider fabrication using data mining and multi response optimization
This paper is to provide a proper insight into solving a multi-response optimization problem using hybrid response surface methodology (RSM) based on robust parameter design (RPD) concepts and data mining (DM) for the multi-response optimization of a RIE process. Over the recent years in many high p...
محفوظ في:
| المؤلفون الرئيسيون: | , , |
|---|---|
| التنسيق: | مقال |
| منشور في: |
World Scientific and Engineering Academy and Society
2015
|
| الموضوعات: | |
| الوصول للمادة أونلاين: | http://www.scopus.com/inward/record.url?partnerID=HzOxMe3b&scp=79961044870&origin=inward http://cmuir.cmu.ac.th/handle/6653943832/38982 |
| الوسوم: |
إضافة وسم
لا توجد وسوم, كن أول من يضع وسما على هذه التسجيلة!
|