A self-DLC coated cathode plasma source

A novel self-microwave plasma source modified by diamond-like carbon (DLC) coating self-cathode for density enhancement was devised. This simple method had been once routed for enhanced efficient microwave plasma with very low-cost. The coating parameters in fabrication of the self-coated DLC cathod...

وصف كامل

محفوظ في:
التفاصيل البيبلوغرافية
المؤلفون الرئيسيون: A. Deachana, D. Boonyawan, B. Yodsombat
التنسيق: دورية
منشور في: 2018
الموضوعات:
الوصول للمادة أونلاين:https://www.scopus.com/inward/record.uri?partnerID=HzOxMe3b&scp=67349127573&origin=inward
http://cmuir.cmu.ac.th/jspui/handle/6653943832/59475
الوسوم: إضافة وسم
لا توجد وسوم, كن أول من يضع وسما على هذه التسجيلة!